機臺名稱：真空等離子清洗機
機臺型號：OKSUN-PM120L/PM180L
整機規格：PM120L: 1320(W)×1720(H)×1030(D)mm
PM180L: 1400(W)×1720(H)×1050(D)mm
電極規格： PM120L: 10層平板式電極板（470(W)×410(D)mm）可定制
PM180L: 10層平板式電極板（530(L)×400(W)mm）可定制
電源系統：5KW等離子體發生源（40KHz，可選13.56MHz）
控制系統：觸摸屏 PLC自動控制
進氣系統：2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2
特 點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業的技術支持
用 途：適用于攝像頭及行業，手機制造、半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等等。
1、攝像頭、指紋識別行業：軟硬結合板金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清潔。
2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗
3、硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。
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